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耐高温喷嘴
Sonaer设计了配合高温喷头的三种喷嘴:点圆形、圆锥形、扇形耐高温喷嘴,可以在温度小于600度的环境长时间工作。同时喷头均配有CP冷却部件。提高了在CVD工作时的效率,为产业化打下良好的基础。
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